AMC控制技术-谈化学

发的苯二甲酸二乙酯(为常 塑胶材 中的塑化 剂,在洁净室中逸散出,一旦 积在晶圆表面即造 成 可逆的缺陷),室温下为气态的氨气( 半导体 洁净室内常 极 造成元件缺陷的腐蚀性污染物 之ㄧ).此系统的均匀 极佳,於化学 网测试段 ...