微小尺寸下的液体量测与驱动
本文档由 轮号情人 分享于2009-06-30 23:11
晶)基板脱模,PDMS模直接放置於玻璃上,密合出微流道的管路. 虽然以矽胶的脱模法制作微流道,严格来说并不是...光阻牺牲层会遭破坏).因此传统的LPCVD多晶矽(600度C)与氮化矽(800度C)等矽基(silicon-based)材料与制程,都不再...
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