物理气相沉积(PVD)技术物理气相沉积(PVD)技术

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半导体的一些基础知识
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半导体 PECVD 物理 气相沉积 PVD pump 溅射 原子 真空 抽气
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沉积 pvd 溅镀 物理 cyropump 抽气
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