微细加工(microfabrication)起源于半导体制造工艺

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本文档由 陈一青 分享于2009-06-19 23:03

,原来指加工尺度约在微米级范围的加工方式. 在微机械研究领域中,它是微米级,亚微米级乃至纳米级微细加工的通称,即微米级微细加工(micro fabrication),亚微米级微细加工(sub micro fabrication)和纳米级微细加工(nano fabrication)等.微细......
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