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用磁控溅射法制备具有GMR 效应的自旋阀多层膜

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本文档由 专业娱乐文档 分享于2009-04-11 17:33

镀之间，靶材的表面可能已遭到程度不同的污染，为避免这些不纯物带进沉积膜内，并 ... 属在溅射初期的成份不定的影响，我们用挡板把靶和晶片隔开，靶起辉后，待靶表面 ...
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开靶 CoFe 电阻 溅射 GMR 磁场 磁控 传感器 MnIr 惠斯登
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多层膜 gmr 控溅射 法制备 cofe 磁电阻
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