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AuSi共晶键合技术及翘板式RF+MEMS开关的研究

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本文档由 mikedac04 分享于2015-04-13 01:18

AuSi共晶键合技术及翘板式RF+MEMS开关的研究——所有资料文档均为本人悉心收集，全部是文档中的精品，绝对值得下载收藏！
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技术 键合 RF 研究 AuSi MEMS AUSi 技术的RF 键合技术 键合和
系统标签：
mems 翘板 共晶 键合技术 ausi 键合层
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